朗繆爾探針診斷系統(tǒng)是一種測試等離子體參數(shù)的關(guān)鍵診斷工具，可以對等離子體密度、電子溫度、等離子體電流密度等參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)在線監(jiān)測。

一、主要特點(diǎn)
        朗望科技自主研制的朗繆爾體探針診斷系統(tǒng)（以下簡稱LWALP系統(tǒng)）可以對主要的等離子體參數(shù)：?等離子體密度、電子溫度、離子電流密度、等離子體電位、懸浮電位等，進(jìn)行實(shí)時(shí)在線監(jiān)測；
        朗望科技創(chuàng)新的航天電子技術(shù)和真空條件下的WIFI高可靠通訊技術(shù)，保證 LWALP系統(tǒng)設(shè)備可完全置于真空環(huán)境下工作，避免了測量信號穿艙帶來的麻煩，大大降低了設(shè)備布置的難度，極大提高了系統(tǒng)的測量準(zhǔn)確度；
        中國航天、中科院、中國電科等大量等離子體研究機(jī)構(gòu)研究人員的苛刻測試驗(yàn)證，朗望科技對技術(shù)、產(chǎn)品精益求精的迭代優(yōu)化保證了LWALP系統(tǒng)測量的準(zhǔn)確性。

二、單探針（柱形探針、平面探針、球形探針）
        LWALP系統(tǒng)可對直流、脈沖直流、微波和射頻等離子體進(jìn)行診斷測試。標(biāo)準(zhǔn)探針軸的長度為300mm，也可根據(jù)需求延長至1.5m。嵌入式的探頭固定裝置能夠有效防止在探針采集區(qū)域由于濺射導(dǎo)電層引起的增量。簡單適宜的探頭固定設(shè)計(jì)使得探頭的更換十分容易。標(biāo)準(zhǔn)探針材料為鎢，也可由鉬、鉑、因瓦合金等制成。根據(jù)用戶要求，我們可定制不同長度、直徑、材料和形狀的探針，同時(shí)分析軟件的升級也十分簡便。

三、雙探針
        雙探針可針對接地情況不佳的現(xiàn)場加以應(yīng)用，可用于RF/pRF和DC/pDC等環(huán)境。并可測得高密度等離子體。探頭清潔作為標(biāo)準(zhǔn)配置，自動(dòng)清潔功能使得清潔探頭更加容易，尤其對于沉積等離子體特別有用。ALP系統(tǒng)的應(yīng)用軟件可支持自動(dòng)清潔和手動(dòng)清潔雙重操作。

四、空間分布測量
        ?使用三維線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)（三維空間X*Y*Z尺寸：500*500*500mm）能將朗繆爾探針深入到等離子體腔室的不同位置中，在探針?biāo)_(dá)位置，可測得附近等離子體的關(guān)鍵參數(shù)，繪制出大多數(shù)等離子體性質(zhì)的清晰圖片。

五、直流補(bǔ)償
        預(yù)掃描模式可以排除對直流補(bǔ)償電極的需求，在探針消耗不同電流時(shí)，能檢測到IV特征曲線中電壓的漂移。亦可確定等離子體的對地電阻，同時(shí)加以適當(dāng)?shù)男拚?

六、射頻補(bǔ)償
        本系統(tǒng)配置的探針軸由金屬制成，覆以精良的陶瓷層，使得探頭對等離子體的耦合最佳化，可排除對補(bǔ)償電極的需求。